孔板流量計附件的安裝、使用和維修保養(yǎng)，氣體質(zhì)量流量控制器和氣體質(zhì)量流量計的應用范圍 
MFC和MFM可廣泛地應用于石油化工、半導體和集成電路、特種材料學科、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科學研究和生產(chǎn)中，其典型應用有：電子工藝設(shè)備，如氧化、CVD、擴散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應裝置、配氣和混氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。
 1、產(chǎn)品安裝前應徹底清除管道污物、焊渣等。
　　 2、各類氣、電動調(diào)節(jié)閥應正立垂直安裝。流向按閥體箭頭所示。須斜裝時除小口徑外,如自重較大或有震動，應加支承，入口配管長最好為10-20DN，如有可能，出口配管為3-5DN直管段。氣動高溫高壓疏水閥立式和臥式均可安裝。介質(zhì)為液體的自力式調(diào)節(jié)閥一般均倒立安裝，嚴禁逆流向安裝。
　　 3、設(shè)置旁通管道、遇有故障或維修時可用旁路控制。
　　 4、手操時應控說明書和手操標牌指示，活塞式執(zhí)行機構(gòu)帶有竄氣閥時應打開竄氣閥,恢復自蒸汽流量計動時應將切換手柄置“自動”位置，有竄氣閥的應予關(guān)閉。液壓手操機構(gòu)的操作請見說明書。電動閥手操時應將手柄拉出。